方向一:非硅MEMS技术及其应用

     针对非硅MEMS(微机电系统)的建模仿真、设计、加工、封装、测试和应用的关键科学技术问题,对基于金属、高分子聚合物、磁性材料等多种非硅材料的MEMS技术进行多学科交叉系统研究,着力开展三维非硅微加工及柔性衬底等微纳制造技术探究,重点推进多种非硅材料兼容的微纳融合集成制造工艺标准化和成套工艺体系研究,建立和完善非硅MEMS加工技术平台,深化面向各种典型非硅MEMS器件和系统的应用技术研究,开发具有独特优势的典型非硅MEMS器件和系统,完成小批量制造和应用试验,提升我国MEMS技术自主发展和应用推广水平。目前,本研究方向授权国家发明专利近二百项,在国内外SCI等期刊杂志和会议上发表了大量论文,并出版了MEMS专著多本,培养了一大批非硅MEMS技术的专门人才。已为复旦大学、中科院力学所、东针电子(广州)有限公司等几十家用户单位应用,用于化学传感器、生物生化芯片、生物医学分析、纳米技术和器件、微流控芯片、MEMS光器件、IC测试、国防武器等众多领域。非硅MEMS技术获国家奖一次,省部级一等奖三次,省部级二等奖二次,总体上达到国际先进、国内领先水平。

 

 

方向二:薄膜材料与器件研究方向

    面向纳米薄膜制备机理、微细成型加工方法、表面纳米结构化、纳米薄膜效应、二维织构方法、纳米材料操纵排布薄膜、纳米焊接机制、纳米薄膜自组装、纳米图形刻蚀等关键科学基础问题,创新研究先进信息薄膜材料、纳米电子薄膜材料、新型能源薄膜材料、多孔结构新型功能薄膜材料与相关器件和系统,主要包括纳电子器件、立体集成电路、光电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、纳米传感器、薄膜太阳能电池,超级蓄电池,纳滤器、量子器件等。并开展薄膜材料与器件技术在光、电、磁、化工、机械等高新技术产业领域的重要应用。

 

 

方向三:纳电子材料与器件

    主要研究纳米材料的可控合成、纳米传感器件的设计制造以及在生物医学、能源等领域中的应用研究。以纳米表面和材料工程以及与生物分子的相互作用作为基础研究,开展以纳米磁性薄膜材料在生物医学的体外分离纯化、免疫学检测、影像学诊断、基因递送等方面应用基础研究,在纳米材料的可控制备、生物学效应、重大疾病诊断的新原理方法及生物传感器、多功能分子影像纳米探针、纳米治疗药物研究方面,形成一定的特色与优势。

 

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