仪器名称: 溅射系统 
制 造 厂: 德国L-H公司 
型号规格: Z-550 
主要技术指标: 本底真空2*10-6 mbar,射频最大功率2.5kw,直流功率最大1kw,沉积速率约在数百埃/分钟。
        可直流、交流、溅射,靶材有Cu, Cr, Fe-Ni, Ti,可溅射3英寸片子13片。 
  应用范围: 多种金属单层膜、多层膜及复合膜
 


 

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