仪器名称: 俄歇电子能谱仪
  制 造 厂: 美国P-E公司
  型号规格: PE-610
  主要技术指标: 真空度:5*10-10 Torr;
        电子束径:1000Ho,加速电压:10kv,
        束流:> 2μA。 
  应用范围: 材料表面分析(线行),薄膜材料深度线行分析,俄歇电子成分面扫描。

 

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